晶圓缺陷參數(shù)檢測 : 非接觸測試解決方案，基于我司自主研發(fā)的激光自動(dòng)聚焦、自動(dòng)化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發(fā)光和拉曼光譜等核心測試技術(shù)，聯(lián)合白光干涉等其它 3D 測量技術(shù)，定制化的半導(dǎo)體參數(shù)測試解決方案。獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數(shù)，到位錯(cuò)、層錯(cuò)等缺陷，再到發(fā)光波長、壽命、載流子濃度、組分和應(yīng)力等物理參數(shù)的綜合測試系統(tǒng)。

Name: 晶圓缺陷參數(shù)檢測 : 非接觸測試解決方案
Brand: ZOLIX/卓立漢光
Availability: InStock

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2024-07-11

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2406

產(chǎn)品咨詢 13810146393

產(chǎn)品分類Product Categories

相關(guān)文章Related Articles

Cu2O納米線的拉曼光譜研究介紹

2017-04-11
Linear16-z 線性位移臺(tái)：高精度定位的理想選擇

2023-09-27
便攜式拉曼光譜技術(shù)在潤滑油定性鑒別中的應(yīng)用

2018-08-06
激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)下的土壤檢測：卓立SCMOS光譜儀的作用

2024-11-04
在超純環(huán)境下進(jìn)行顯微熒光及光電流的原位觀測

2024-11-22

詳細(xì)介紹在線留言

全晶圓半導(dǎo)體參數(shù)非接觸測試解決方案

Full-wafer Noncontac Measuring Solutions forSemiconductor Parameters

基于我公司自主研發(fā)的激光自動(dòng)聚焦、自動(dòng)化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發(fā)光光譜和共焦拉曼光譜等核心測試技術(shù)和模組，聯(lián)合白光干涉等其它 3D 測量技術(shù)，根據(jù)客戶的需求靈活組合相應(yīng)的技術(shù)搭配，為客戶開發(fā)定制化的半導(dǎo)體參數(shù)測試解決方案，獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數(shù)，到位錯(cuò)、層錯(cuò)等缺陷，再到發(fā)光波長、壽命、載流子濃度、組分和應(yīng)力等物理參數(shù)的綜合測量，實(shí)現(xiàn)無需任何前處理的全晶圓無損自動(dòng)化檢測。

晶圓缺陷參數(shù)檢測 : 非接觸測試解決方案